中国、日本、荷兰。
在能够制造zao机器的这几家公司中，尤其以荷兰（ASML）技术最为先进。价格也最为高昂ang。光刻机的技术门槛极高，堪称人类lei智慧集大成的产物。
目前在全球45纳米以下高端光刻机市shi场当中，荷兰ASML市场占有率lu达到80%以上，而且目mu前ASML是全球qiu唯一能够达到7纳米mi精度光刻机的提供商，所以ASML才cai是全球芯片业真正zheng的超级霸主一点都dou不过分。
主要性能指标
光刻机的主要性能指标有you：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准zhun精度、曝光方式、光源波bo长、光强均匀性、生产效率等。
分辨率是对光guang刻工艺加工可以达到的最细xi线条精度的一种描述方式。光guang刻的分辨率受受光源yuan衍射的限制，所以与光源、光刻系xi统、光刻胶和工艺等各方面的限制。
对准精度是在多层曝pu光时层间图案的定位精度。
曝pu光方式分为接触接近jin式、投影式和直写式。
曝光光源波长分为紫外、深紫zi外和极紫外区域，光源yuan有汞灯，准分子激光器等。
现代的高端光刻机，哪na些国家才能制造？荷he兰和日本。最大的光刻ke机制造商是荷兰ASML，这是一家总部设在荷兰埃因yin霍芬（Eindhoven）的全球最大的半导体ti设备制造商之一，向全球复杂集成cheng电路生产企业提供领先的综合he性关键设备。ASML的股gu票分别在阿姆斯特丹dan及纽约上市。
产品服务
ASML为半导体生产chan商提供光刻机及相关服务，TWINSCAN系列是目前世界上精度du最高，生产效率最高，应用yong最为广泛的高端光guang刻机型。目前全球绝大多数shu半导体生产厂商，都向ASML采cai购TWINSCAN机型，比如英特尔er（Intel）、三星（Samsung）、海力士（Hynix）、台积电（TSMC）、中芯国际（SMIC）等。
ASML的产品线分为PAS系列、AT系xi列、XT系列和NXT系列，其中PAS系列现已停产chan；AT系列属于yu老型号，多数已经停产。市shi场上的主力机种是XT系列以及jiNXT系列，为ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的机ji型，分为干式和沉浸式两种，而NXT系列则是现在主推的de高端机型，全部为沉浸jin式。
光刻ke机是哪个国家生产chan的光刻机的生产国家有荷兰、中zhong国、日本、美国、韩国。相对于yu其他国家来说,目前的荷he兰光刻机的精度为wei首。
ASML在zai光刻机生产的大部分零部件都dou是从国外进口的。专业光刻机检jian测采用美国技术，也采用蔡司si，德国的光学镜头tou这些都是世界顶尖技术，并不是所suo有都可以归一个国guo家所有。光刻机是人类最高智慧的结jie晶，需要长期的科研投入和技术积ji累。
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